Modemann, KarlKarlModemann2022-03-082022-03-081988https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/315248In diesem Vortrag wird eine Vorgehensweise vorgestellt, Oberflächenwelligkeiten bezüglich der sie verursachenden Maschinenschwingungen nach Frequenz, Amplitude und Phase mit Hilfe synthetischer Interferogramme zu analysieren. Desweiteren wird eine Vorgehensweise zur meßtechnischen Untersuchung von Ultrapräzisionsmaschinen vorgestellt. Diese Untersuchung hat das Ziel, die Ursachen von Oberflächenwelligkeiten zu analysieren, um Verbesserungsmaßnahmen insbesondere maschinenbaulicher Art zu erarbeiten, die zu einer Reduzierung der Schwingungen im Feinstzerspanprozeß führen. Anhand zweier Beispiele werden die Ergebnisse der Nachgiebigkeitsmessungen und Messungen zum Bearbeitungstest zweier Ultrapräzisionsmaschinen erläutert. (IPT)deInterferogrammMaschinennachgiebigkeitMaschinenschwingungSchwachstellenanalyseUltrapräzisionsmaschineWerkstückoberflächenmodulation670658conference paper