Under CopyrightBräuer, G.Kirchhoff, V.Arnold, A.Wünsche, M.2022-03-074.1.20082002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/29129910.24406/publica-fhg-291299de667670620Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2001Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Achievements and results. Annual report 2001annual report