Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolettstrahlung und weicher Roentgenstrahlung aus einer Gasentladung

Lebert, R.R.LebertBergmann, KlausKlausBergmannSchriever, G.G.SchrieverNeff, W.W.Neff2022-03-082022-03-082002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/305341de608621Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolettstrahlung und weicher Roentgenstrahlung aus einer Gasentladungpatent1997-19753696