Durasiewicz, C.P.C.P.DurasiewiczThalhofer, T.T.Thalhofer2022-03-142022-03-142019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/410762Vorgestellt wird die hochdynamische Analyse des pulsatilen Flusses von Mikromembranpumpen mithilfe eines in-line MEMS-Sensors. Die Druckpulscharakteristik der Mikromembranpumpe wird phänomenologisch beschrieben und die Abhängigkeit des Sensorsignals von der Aktuierungs-Signalform wird dargelegt. Des Weiteren wird auf die Einflüsse der fluidischen Peripherie auf das Sensorsignal und die sich somit ergebende Rückverfolgbarkeit auf Fluidsystemgrößen eingegangen.de621conference paper