Hülsmann, A.A.Hülsmann2022-03-062022-03-061994https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/272096deElektronenstrahlGaAs-TechnologieHEMTLithographieMMICMODFET621667Technologie zur Herstellung modulationsdotierter Feldeffekttransistoren -MODFETs- unter Verwendung der Elektronenstrahl-Lithographiedoctoral thesis