Helke, ChristianChristianHelkeEnderlein, TomTomEnderleinHarazim, S.S.HarazimNestler, J.J.NestlerOtto, ThomasThomasOttoSchmidt, O.G.O.G.SchmidtGeßner, ThomasThomasGeßner2022-03-122022-03-122014https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/385869deKombination von Laser- und MEMS Technologieprozessen fuer Integrationsstrategien von rolled-up Nano-Architekturenconference paper