Ernst, C.C.Ernst2022-03-082022-03-081993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/321043Die Streulichtpartikelmessung hat die untere physikalische Nachweisgrenze erreicht. Aufgrund der Indirektheit des Detektionsprinzips können Partikelmessungen in Flüssigkeiten mit verschiedenen Meßgerätetypen stark voneinander abweichen. Die quantitative Teilchendetektion wird entscheidend von der Bauart bzw. Konzeption des Sensors beeinflusst. Die Partikelmessung in Chemikalien ist physikalisch nicht so gut zu beherrschen, wie in Reinstwasser. Die Detektion der Phasenverschiebung eröffnet eine differenzierte Teilchenbestimmung bei erhöhter Nachweiswahrscheinlichkeit für Teilchen mit geringem Berechnungsindex.decalibrationFlüssigkeitKalibrierenMeßgerätMessenparticle counterPartikelmessungPartikelzählerREM-Auszählmethodescattering lightSEM Counting methodStreulichtTeilchen670conference paper