Stenzel, O.O.StenzelWilbrandt, S.S.WilbrandtSchürmann, M.M.SchürmannKaiser, N.N.Kaiser2022-03-112022-03-112010https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/367256Die optischen und nichtoptischen Eigenschaften von Mischschichten aus Hafniumoxid, Zirkonoxid und Aluminiumoxid werden vorgestellt und diskutiert. Es wird gezeigt, dass mit PIAD - Verfahren (APS pro) optisch homogene UV- transparente Mischschichten präparierbar sind.de620conference paper