Buchta, DominicDominicBuchtaBehrendt, VivienVivienBehrendtBlättermann, AlexanderAlexanderBlättermannRademacher, ChristianChristianRademacher2025-11-082025-11-082025-06-18https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/498860Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Prüfen einer Oberfläche (2) eines Prüfobjekts mit den Schritten: während einer ersten Objekterfassung, Beleuchten einer Mehrzahl von Objektpunkten auf der Oberfläche (2) des Prüfobjekts (3) mit elektromagnetischer Anregungsstrahlung (7,7') mit einer Anregungswellenlänge und einer ersten Anregungsintensität, Erfassen jeweils einer Intensität einer elektromagnetischen Lumineszenzstrahlung für eine Mehrzahl von Bildpunkten mit einer ersten Erfassungsempfindlichkeit, wobei die Lumineszenzstrahlung eines Bildpunkts jeweils von einem Objektpunkt aus der Mehrzahl von Objektpunkten abgestrahlt wird, und Ausgeben jeweils eines Intensitätssignals für jeden aus der Mehrzahl von Bildpunkten, wobei das Intensitätssignal die Intensität der Lumineszenzstrahlung des jeweiligen Objektpunkts repräsentiert und wobei die Lumineszenzstrahlung eine von der Anregungswellenlänge verschiedenen Lumineszenzwellenlänge aufweist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Verfahren weiterhin die Schritte aufweist: Bestimmen einer ersten Auswahl, wobei zumindest für jeden Objektpunkt aus der ersten Auswahl jeweils das Intensitätssignal der ersten Objekterfassung kleiner ist als ein Intensitätssignalschwellenwert oder für jeden Objektpunkt aus der ersten Auswahl jeweils ein für die erste Objekterfassung zu erwartendes Intensitätssignal kleiner ist als der Intensitätssignalschwellenwert, und während einer zweiten Objekterfassung, Beleuchten der ersten Auswahl von Objektpunkten auf der Oberfläche des Prüfobjekts mit der Anregungsstrahlung mit einer zweiten Anregungsintensität, Erfassen der Intensität der Lumineszenzstrahlung für mindestens einen Bildpunkt mit einer zweiten Erfassungsempfindlichkeit, wobei die Lumineszenzstrahlung jedes Bildpunkts jeweils von einem aus der ersten Auswahl von Objektpunkten abgestrahlt wird, und Ausgeben jeweils eines Intensitätssignals für die erste Auswahl von Objektpunkten, und Erzeugen eines ersten Bilds der Oberfläche des Objekts mit den Intensitätssignalen aus der zweiten Objekterfassung der ersten Auswahl von Objektpunkten, wobei die zweite Objekterfassung zumindest teilweise zeitlich nach der ersten Objekterfassung erfolgt und wobei für jeden Objektpunkt aus der ersten Auswahl zumindest die zweite Intensität der Lumineszenzstrahlung größer ist als die erste Intensität der Lumineszenzstrahlung oder die zweite Intensität der Lumineszenzstrahlung größer als die für den jeweiligen Objektpunkt in der ersten Objekterfassung zu erwartende erste Intensität der Lumineszenzstrahlung oder die zweite Erfassungsempfindlichkeit größer ist als die erste Erfassungsempfindlichkeit.depatentEP4571296 A1EP20230216634