Schimmanz, KlausKlausSchimmanzLanga, SergiuSergiuLanga2025-07-242025-07-242025-04-10https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/489915Ein MEMS-Bauelement umfasst einen Schichtstapel mit einer Mehrzahl an MEMS-Schichten, die etwa in einer Schichtfolgenrichtung angeordnet sind und eine Kavität in dem Schichtstapel. Ein in der Kavität angeordnetes und in einer ersten MEMS-Schicht gebildetes bewegliches Element ist zwischen einer zweiten MEMS-Schicht und einer dritten MEMS-Schicht des Schichtstapels angeordnet und ausgebildet, um mit einem in der Kavität angeordneten Fluid zu interagieren, wobei eine Bewegung des Fluids und eine Bewegung des beweglichen Elements kausal zusammenhängen. Das bewegliche Element weist eine der zweiten oder dritten MEMS-Schicht zugewandte Stirnseite auf, die zwei gegenüberliegende Seitenflächen des beweglichen Elements miteinander verbindet. Zumindest eine erste Seitenfläche ist gegenüber der Stirnseite unorthogonal geneigt.depatentDE102023209766 A1DE202310209766