König, WilfriedWilfriedKönigMeis, Frank UlrichFrank UlrichMeisWillerscheid, HeinerHeinerWillerscheid2022-03-022022-03-021984https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/171234de670658620Prozeßbeobachtung und -ueberwachung bei Hochleistungslasernjournal article