Szyszka, B.B.Szyszka2022-03-032022-03-031999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195334Transparente und leitfähige Oxide (TCOs) vereinen die optischen Eigenschaften von dielektrischen Materialien mit den elektrischen Eigenschaften von Metallen. Dadurch erfüllen TCO-Schichtsysteme Schlüsselfunktionen für zahlreiche optoelektronische Anwendungen. Erst das reaktive Magnetronsputtern bietet eine Möglichkeit, um derartige Schichtsysteme mit hoher Qualität kostengünstig und großflächig herzustellen.deMittelfrequenz-SputternTCO-Schichtsysteme667669journal article