Grabowski, R.R.Grabowski2022-03-022022-03-021984https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/171187deAutomatisierungBildaufnahme(dreidimensional)Lotung(optisch)Optoelektronik621620Optische Impulse erfassen Erhebungen dreidimensional. Das Hoehenraster-Bild steht abrufbereit im Halbleiterspeicherjournal article