Nano-Computertomographie - ein wertvolles Hilfsmittel bei metallographischen Untersuchungen zur Schadensanalyse mikroelektronischer und mikrotechnischer Komponenten

Faust, W.W.FaustNoack, E.E.NoackMichel, B.B.Michel2022-03-102022-03-102008https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/360977de621Nano-Computertomographie - ein wertvolles Hilfsmittel bei metallographischen Untersuchungen zur Schadensanalyse mikroelektronischer und mikrotechnischer Komponentenconference paper