Bätz, U.U.BätzKreißig, B.B.KreißigKunze, K.K.KunzeLingner, T.T.Lingner2022-03-092022-03-091994https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/322786MGS (Mask data Generation System) ist ein Softwarepaket zur Generierung von Ansteuerdaten für die E-Beam Schreiber der Typen ZBAxx. Die Anforderungen, die sich aus der Erhöhung des Integrationsgrades in der Mikroelektronik, der Ausdehnung der Miniaturisierung auf immer neue Gebiete und der Funktionsweise der E-Beam Schreiber an die Software ergeben, werden aufgezeigt. Es wird dargestellt, wie im MGS versucht wird, diesen Anforderungen gerecht zu werden.deDVE-Beam SchreiberLithographieMikroelektronikMikrotechnikPortabilitätsoftware621conference paper