Under CopyrightZimmermann, MartinaWeihnacht, VolkerLorenz, LarsLarsLorenz2022-03-079.6.20172017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/28156810.24406/publica-fhg-2815681 Einleitung // 2 Grundlagen // 2.1 Statische Härteprüfung // 2.2 Instrumentierte Eindringprüfung // 2.3 Messung mit laserinduzierten akustischen Oberflächenwellen // 2.4 Schichtsysteme // 3 Geräte // 3.1 Prüfung mit dem Nanoindenter ZHN-1 // 3.2 Prüfung mit dem akustischen Prüfgerät LAwave // 4 Durchführung // 4.1 Proben // 4.2 Methodische Untersuchung der Auswertemethode des Schichteindringmoduls // 4.3 Methodische Untersuchung der instrumentierten Eindringprüfung // 4.4 Tiefenaufgelöste Messung an beschichteten Bauteilen // 4.5 Methodischer Vergleich Eindringprüfung und akustische Oberflächenwellen // 5 Ergebnisse und Diskussion // 5.1 Methodische Untersuchung der Auswertemethode des Schichteindringmoduls // 5.2 Methodische Untersuchung der Nanoindentation // 5.3 Tiefenaufgelöste Messung an beschichteten Bauteilen // 5.4 Methodischer Vergleich Eindringprüfung und akustische Oberflächenwellen // 6 Zusammenfassung und Ausblick // 7 Literaturangaben // 8 AnhangdeNanoindentationKohlenstoffschichtenta-C coatingta-C-Schichten621671diploma thesis