Schanz, R.R.SchanzGeissinger, J.J.GeissingerBaumbusch, P.P.Baumbusch2022-03-082022-03-081989https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/302234Beschrieben wird ein Reinraum mit einer Handhabungseinrichtung, die auf bzw. in einer Arbeitsplatte angeordnete Behaelter beispielsweise fuer Carrier oder Wafer von einer Bearbeitungsstation zur naechsten transportiert. Der erfindungsgemaesse Reinraum zeichnet sich durch die Kombination folgender Merkmale aus: - unter der Arbeitsplatte ist eine Linearfuehrung angeordnet, auf der ein Schlitten parallel zu einer Seitenkante der Arbeitsplatte verschiebbar ist, - an dem Schlitten ist eine Saeule befestigt, die durch einen Fuehrungsschlitz in der Arbeitsplatte hindurch in den Reinraum ragt, - die Saeule traegt ein wenigstens in Richtung der Saeulenachse verstellbares Greifersystem fuer die handzuhabenden Behaelter, und - entlang des Fuehrungsschlitzes wird die Luft nach unten abgesaugt.de608670patent1987-3726025