Baber, J.J.BaberLaukötter, R.R.LaukötterRaether, F.F.Raether2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/333101de666Temperaturmessung zur Prozeßkontrolle bei der Laserbearbeitung keramischer Dünnschichtenconference paper