Produktionsrelevante PECVD-Verfahren mit optimierten Precursoren zur a-C:H-Abscheidung mit hoher Rate

Peter, SiegfriedBialuch, Ingmar2022-08-312022-08-312010-04https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/420082deProduktionsrelevante PECVD-Verfahren mit optimierten Precursoren zur a-C:H-Abscheidung mit hoher Ratereport