Matuscheck, P.P.Matuscheck2022-03-092022-03-092000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/334974Streulichtpartikelzähler sind vor dem Hintergrund hoher Reinheitsanforderungen die einzigen Geräte, die eine automatische Echtzeitmessung von Partikeln geringster Größe und geringster Anzahlkonzentrationen ermöglichen. Entsprechend des untersuchbaren Mediums lassen sich die verfügbaren Geräte in Flüssigkeitspartikelzähler, Luftpartikelzähler (speziell Kondensationskernzähler), Druckgaspartikelzähler und Vakuumpartikelzähler einteilen. Das Detektionsprinzip beruht auf den in der Streulichttheorie formulierten physikalischen Grundlagen. Der Vortrag gibt einen Überblick über die Meß- und Probenahmetechniken zur Partikelmessung, wie sie vor allem für reine Flüssigkeiten, Gase und Luft eingesetzt werden. Ausführungen zur Funktionsweise und Kalibrierung der Meßgeräte runden den Überblick ab.deLatexpartikelOptische Meßtechnikparticle measurementPartikelmessungPartikelzählerProbenahmeRasterelektronenmikroskopieReinstgasReinstmedienStreulichtZählwirkungsgradKontaminationskontrolleKalibrierenTeilchen670conference paper