Under Copyright2022-03-071.11.20132013https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/29654110.24406/publica-fhg-296541Die vorliegende Veröffentlichung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium, bei dem ein Oberflächenbereich eines Objekts oder ein Bereich des Mediums mit wenigstens einem optischen Muster beleuchtet wird und an dem Oberflächenbereich reflektierte oder durch den Oberflächenbereich oder den Bereich des Mediums hindurchgetretene Beleuchtungsstrahlen mit einem ortsauflösenden optischen Detektor erfasst werden.deAblenkung von Lichtstrahlenoptisches Musterspiegelnde OberflächenEbenheitQualitätssicherungUnebenheitenquantitative Ablenkungsmessungquantitative Neigungsmessung670620530study