Benesch, N.N.BeneschHettwer, A.A.HettwerSchneider, C.C.SchneiderPfitzner, L.L.PfitznerRyssel, H.H.RysselBroermann, O.O.BroermannMarx, E.E.MarxTegeder, V.V.Tegeder2022-03-092022-03-092000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/336955en670620530Phi-scatterometry for on-line process controlconference paper