Münchenberger, Finja MarinaFinja MarinaMünchenbergerDreiner, StefanStefanDreiner2024-05-282024-05-282022-05-19https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/468913Das hierin beschriebene Konzept betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Gassensors (100). Zunächst wird ein Substrat (110) mit einer Opferschicht (302) bereitgestellt. Die Opferschicht (302) wird strukturiert, sodass mindestens zwei voneinander beabstandete strukturierte Bereiche (322, 323) entstehen. Eine elektrisch leitfähige Materialschicht (305) wird innerhalb sowie zwischen den strukturierten Bereichen (322, 323) der Opferschicht (302) abgeschieden. Ein gassensitives Material (310, 401), das eine aktive Sensorfläche für den Gassensor (100) bildet, und eine Metalloxidschicht (307, 402) werden zwischen den strukturierten Bereichen (322, 323) der Opferschicht abgeschieden. Aus der Metalloxidschicht (307, 402) wird eine gasdurchlässige poröse Schichtstruktur (309, 403) erzeugt.depatentDE102020214366 A1DE102020214366