Scheffel, BertBertScheffelTenbusch, MatthiasMatthiasTenbuschSaager, StefanStefanSaagerKopte, TorstenTorstenKopte2024-06-052024-06-052022-03-17https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/469447Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur anodischen Bogenverdampfung innerhalb einer Vakuumkammer, bei welchen eine Bogenentladung zwischen mindestens einer als Kathode geschalteten Elektronenquelle (10) und mindestens einem als Anode geschalteten Verdampfertiegel (1) ausgebildet; ein Verdampfungsmaterial (2) im Verdampfertiegel (1) gelagert; der Verdampfertiegel (1) von einem ringförmigen Permanentmagnetsystem (5) umschlossen und der Verdampfertiegel (1) von mindestens einer ringförmigen Magnetspule (6) umschlossen werden. Des Weiteren wird die Stärke des, die Magnetspule (6) durchfließenden, elektrischen Stroms periodisch verändert.depatentDE102020124270 A1DE202010124270