Schneider, D.D.SchneiderSchwarz, T.T.Schwarz2022-03-032022-03-032000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/197024Eine zuverlaessige mechanische Charakterisierung duenner Schichten ist in der Oberflaechentechnik immens wichtig, allerdings mit abnehmender Schichtdicke problematisch. Die Pruefung mit akustischen Oberflaechenwellen besitzt hier ein beachtliches Potenzial. Diese Messmethode liefert den Elastizitaetsmodul der Schicht, kann aber alternativ auch zur Bestimmung der Schichtdicke eingesetzt werden. Hierbei lassen sich Schichten mit einer Dicke von wenigen Nanometern bis in den Bereich von Millimetern pruefen.deUltraschallLaser-Akustik667621671669journal article