Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtung

Morgner, H.H.MorgnerMetzner, C.C.MetznerRögner, F.-H.F.-H.RögnerZywitzki, O.O.Zywitzki2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/348250de667670620Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtungconference paper