Preußner, ThomasThomasPreußnerKlein, MarcusMarcusKleinGraf, AnnettAnnettGraf2023-08-162023-08-162023https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/44828310.1007/s35144-023-2556-z2-s2.0-85164147978Erstmals ist es gelungen, kontaktlose In-situ-Messungen unter Hochvakuumbedingungen bei Temperauren von bis zu 220 °C zu realisieren. Per Hochfrequenz-Wirbelstrommessung lassen sich so Schichtwiderstand, Schichtleitfähigkeit oder Metallschichtdicke direkt nach heißen Schichtabscheide- oder Schichtmodifizierungsprozessen berührungslos bestimmen.deHochvakuumIn-situ-MessverfahrenHochfrequenz-WirbelstrommessungDDC::600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaftenjournal article