Kohlhoff, JürgenJürgenKohlhoffKretschmer, ThomasThomasKretschmer2022-03-032022-03-031999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195064Der Artikel gibt einen kurzen Ueberblick ueber den Stand der Technik und die Entwicklungstrends auf dem Gebiet der Plasmatechnologien. Behandelt werden technologische Grundlagen und Anwendungen.deEntwicklungstrendsplasma-technologiesPlasmatechnologiensynopsistechnological trend620600journal article