Kampmann, M.M.KampmannStoppel, F.F.StoppelQuenzer, H.-J.H.-J.QuenzerKaden, D.D.KadenJanes, J.J.JanesWagner, B.B.Wagner2022-03-122022-03-122013https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/383455de621Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponentenconference paper