Reschke, StefanStefanReschkeKohlhoff, JürgenJürgenKohlhoffKretschmer, ThomasThomasKretschmer2022-03-032022-03-032002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/201658Der Artikel gibt einen kurzen Überblick über den Stand der Technik und die Entwicklungstrends auf dem Gebiet der Rastersondentechniken. Behandelt werden sowohl technische Grundlagen als auch geeignete Anwendungsmöglichkeiten.deRastersondentechnikÜberblickEntwicklungstrendscanning probe microscopySPMSXMsynopsistechnological trend620600journal article