Hellrung, D.D.Hellrung2022-03-062022-03-062000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/274057deMikromechanikWerkzeugbauHartstoffLaserablation621Materialabtrag mittels Laserstrahlung zur Herstellung von dreidimensionalen Mikroformwerkzeugen aus Hartstoffendoctoral thesis