Sensoranordnung zur Messung von Druck, Kraft oder Messgroessen, die sich auf Druck oder Kraft zurueckfuehren lassen, Verfahren zur Herstellung der Sensoranordnung, Sensorelement und Verfahren zur Herstellung des Sensorelements

Faul, R.R.Faul2022-03-082022-03-081999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/304269de608621Sensoranordnung zur Messung von Druck, Kraft oder Messgroessen, die sich auf Druck oder Kraft zurueckfuehren lassen, Verfahren zur Herstellung der Sensoranordnung, Sensorelement und Verfahren zur Herstellung des Sensorelementspatent1998-19810756