Brecher, ChristianChristianBrecherFreundt, MartinMartinFreundtLange, S.S.LangeWeinzierl, MartinMartinWeinzierl2022-03-102022-03-102006https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/352910enmicrosystemmicrotechnologyMikrosystemtechnikMontageMontagegestaltung658670Alignment techniques for the high precision assembly of hybrid microsystemsEinstelltechniken für die hochgenaue Montage hybrider Mikrosystemeconference paper