Goetzberger, AdolfAdolfGoetzberger2022-03-082022-03-081979https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/301509de608621697Maskierverfahren zur Herstellung periodischer Strukturen in einem Substrat mittels IonenimplantationMasking process for the production of periodic structures in a substrate by means of ion implantationpatent1974-2454714