Iberl, F.F.IberlLang, W.W.LangWeidhaas, J.J.Weidhaas2022-03-032022-03-031991https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/179947Durch den Beschuß mit Ionen im Energiebereich von einigen MeV kann die chemische Zusammensetzung und der Aufbau von Festkörpern, dünnen Schichten und Oberflächen analysiert werden.deAnalytikRutherford-Streuung530journal article