Melnikov, AntonAntonMelnikovKaiser, BertBertKaiser2025-07-242025-07-242025-04-10https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/489916Ein MEMS umfasst einen Kammantrieb mit einer ersten Fingerstruktur umfassend eine erste Mehrzahl von Elektrodenfingern und einer zweiten Fingerstruktur umfassend eine zweite Mehrzahl von Elektrodenfingern, die parallel zu einer Substratebene des MEMS eine verschränkte Anordnung zueinander bilden. Der Kammantrieb ist ausgebildet, um eine translatorische Relativbewegung zwischen der ersten Fingerstruktur und der zweiten Fingerstruktur basierend auf einer elektrostatischen Kraft zum Verändern eines Abstands zwischen der ersten Fingerstruktur und der zweiten Fingerstruktur parallel zu der Substratebene bereitzustellen. Die erste Mehrzahl von Elektrodenfingern und die zweite Mehrzahl von Elektrodenfingern sind senkrecht zu der Substratebene gekrümmt.depatentDE102023209764 A1DE202310209764