Palladiumhaltiges Precursormaterial und Verfahren zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf dielektrischen Substraten mit einem palladiumhaltigen Precursormaterial

Toepper, M.M.ToepperStolle, T.T.StolleKrabe, D.D.KrabeChmiel, G.G.ChmielSchammler, G.G.SchammlerReichl, H.H.Reichl2022-03-082022-03-082001https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/305138de608621Palladiumhaltiges Precursormaterial und Verfahren zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf dielektrischen Substraten mit einem palladiumhaltigen Precursormaterialpatent1995-19507813