König, WilfriedRojas Garces, PatriciaPatriciaRojas Garces1992https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/271864Es wurden folgende Punkte erarbeitet: - Beschreibun g der Abtragsmechanismen, der Voraussetzungen und Auswirkungen, um ein allgemeines Prozeßverständnis erarbeiten zu können. - Festlegung von Bearbeitungsbedingungen beim Planparallelpolieren zur Realisierung eines stationären und reproduzierbaren Prozeßverlaufs. - Optimierung des Polierprozesses hinsichtlich der Werkstückqualität und der Wirtschaftlichkeit.deAbtragenPolieren670658doctoral thesis