Werno, J.J.WernoMokwa, W.W.MokwaVogt, H.H.VogtKersjes, R.A.R.A.Kersjes2022-03-032022-03-031994https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/185167de621Reduzierung des Wärmeverlustes von Si-Membranen durch Trenchisolierungbook article