Vogt, H.H.Vogt2022-03-032022-03-031993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/183063Die Halbleitersensorik hat in den vergangenen Jahren einen starken Aufschwung erlebt. Sie ist dadurch zu einem (der wenigen) Hoffnungsträger der Halbleitertechnik in Deutschland geworden. Auch für die Zukunft scheinen sich ein gewaltiges Marktpotential und damit gute Wachstumschancen abzuzeichnen.deHalbleitersensorintegrated circuitintegrierte SchaltungmicrosystemMikrosystemtechnikminiaturisiertes Meßsystemsemiconductor sensorSensorik621journal article