Dischler, B.B.DischlerKoidl, P.P.KoidlPohl, F.F.Pohl2022-03-082022-03-081987https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/302165Bei einer Vorrichtung zur interferometrischen Pruefung der optischen Homogenitaet von transparenten plattenfoermigen Werkstuecken (22) wird die Veraenderung der optischen Schichtdicke durch eine flaechenhafte Aufzeichnung eines Interferogramms der Schichtdickeninterferenzen ueberprueft. Die Vorrichtung verfuegt ueber eine Lichtquelle (1) zur Erzeugung eines das Werkstueck (22) sequentiell abtastenden kohaerenten monochromatischen Lichtstrahlbuendels (17). Das durch das Werkstueck transmittierte und in seiner Intensitaet modulierte Lichtstrahlbuendel (26) gelangt zu einem Thermopapier (27) und bewirkt dort entsprechend den Veraenderungen der optischen Schichtdicke Schwaerzungen. Zur Erzeugung einer Abtastbewegung zwischen dem Lichtstrahlbuendel (17) und dem Werkstueck (22) wird ein Kurvenschreiber (9) verwendet, auf dessen Schlitten (8) ein erster Umlenkspiegel (7) und auf dessen Schreibkopfteil (15) ein zweiter Umlenkspiegel (14) so befestigt sind, dass das Werkstueck (22) entsprechend der Bewegung des Schreibkopfteils (15) vom abtastenden Lichtstrahlbuendel (17) abgetastet wird.de608621667patent1985-3509512