Tobisch, AlexanderAlexanderTobischSchellenberger, MartinMartinSchellenbergerPfitzner, LotharLotharPfitzner2022-03-042022-03-042012https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/230594Am Fraunhofer IISB wurde ein Sensor zur Oberflächeninspektion entwickelt, der auf der relativ unbekannten "Makyoh"-Methode basiert. Er wird zur Topographiebestimmung von Halbleiterscheiben eingesetzt und hat sich als leistungsfähiger Ansatz zur großflächigen Ebenheitsmessung von spiegelnden Oberflächen aller Art erwiesen.deMakyohmagic-mirrorNanotopographieEbenheitsmessungDefekterkennungNeigungsmessungWellenfrontsensor3D SensorWaferWafer InspektionHalbleiterscheibeOberflächeninspektion670620530535journal article