Haupt, MichaelMichaelHauptOehr, C.C.OehrRuhfass, R.R.RuhfassSchmidt, R.R.Schmidt2022-03-102022-03-102006https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/352991de610620660Entwicklung von Antihaftschichten auf Schablonen zur Optimierung von Druckprozessen in der Mikroelektronikconference paper