Czernohorsky, MalteMalteCzernohorskyWeder, AndreasAndreasWederMart, ClemensClemensMartFalidas, K.K.FalidasKühnel, K.K.KühnelViegas, A.E.A.E.ViegasHolland, H.-J.H.-J.HollandWeinreich, W.W.Weinreich2022-03-142022-03-142019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/4088462-s2.0-85096788258de621Antiferroelektrische, eingebettete Dünnschichtkondensatoren als Energiespeicher für autarke Sensorelementeconference paper