Haas, K.H.K.H.HaasSchmidt, H.H.SchmidtHutter, F.F.Hutter2022-03-082022-03-081987https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/315664Organisch modifizierte Silicate, die durch Hydrolyse und Kondensation von Alkoxysilanen ueber den Sol-Gel-Prozess hergestellt werden, koennen als gasempfindliche Materialien zur Entwicklung von Gassensoren eingesetzt werden. Diese Materialien aendern in Abhaengigkeit von der adsorbierten Gasmenge ihre elektrischen Eigenschaften (Dielektrizitaetskonstante, Leitfaehigkeit), wie durch Messungen an duennen Schichten auf Interdigitalkondensatoren festgestellt wurde. Durch Variation von funktionellen Gruppen, die als Adsorptionszentren dienen, koennen Selektivitaet und Sensitivitaet beeinflusst werden. (ISC)engassensorSchicht(dünn)Silicat(organisch modifiziert)666conference paper