John, W.2022-03-022022-03-021996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/1323271. Statusseminar zum Verbundprojekt Modellbildung für die Mikrosystemtechnik MIMOSYS im Rahmen des 5. Workshops Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen. Tagungsband