Hanselka, H.H.HanselkaKurtze, L.L.KurtzeHillenbrand, J.J.HillenbrandTonkonog, E.E.TonkonogSessler, G.M.G.M.Sessler2022-03-112022-03-112010https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/367505de620Beschleunigungssensor-Arrays auf Basis zellularer Piezoelektretfolienconference paper