Gaugel, T.T.Gaugel2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/333076Das Personal ist aus der reinen Fertigung bis dato nicht wegzudenken und muß in den Reinraum integriert werden. Vorgestellt werden anhand von Beispielen zahlreiche Aspekte hinsichtlich angemessener Reinraumbekleidung, strömungsgerechtem Verhalten im Reinraum sowie Methoden zur korrekten Ausbildung und Sensibilisierung des Personals für reine Fertigungs- und Prozeßabläufe.deBekleidungFertigungsprozeßluftgetragene PartikelMenschOberflächenreinheitPartikelzählerPersonalReinheitszustandReinraumStickstoffneblerTeilchenWaferinspektion670conference paper