Under CopyrightSchmüser, ChristianChristianSchmüser2022-03-0718.2.20152015https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/29723710.24406/publica-fhg-297237deOberflächenmodifizierungLichtAbbauÄtzensurface modificationlightetchingsilicon620660671Oberflächenmodifizierung mit Lichtreport