Eyer, AchimAchimEyerRäuber, A.A.Räuber2022-03-082022-03-081993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/321363Das Projekt beschäftigt sich mit dem Einsatz inkohärenter Strahlung in Verbindung mit fokussierenden oder nichtfokussierenden Spiegelsystemen für verschiedene Hochtemperatur- Prozesse in der Halbleiter- bzw. Solarzellenfertigung. Der Einsatz von Lampen (Halogenglühlampen oder Entladungslampen) als Energiequelle hat eine Reihe von Vorteilen: -nur die Probe wird aufgeheizt, nicht die Umgebung; -höchste Reinheit des Prozesses gewährleistet; -sehr hohe Temperaturen erreichbar; -kurze Aufheiz- und Abkühlraten möglich; -kleinstmöglicher Energieaufwand. Optische Prozeßtechnologie ist bereits weit verbreitet und läuft meist unter der Bezeichnung RTP - Rapid Thermal Processing oder RIP - Rapid Isothermal Processing.dehigh temperaturelampmirrorrapid isothermal processingrapid thermal processingRIPRTPsemiconductorsolar cell621697conference paper